膜厚儀采用磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。利用磁感應原理的測厚儀，原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度。一般要求基材導磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導磁率之差足夠大(如鋼上鍍鎳)。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產品采用指針式表頭，測量感應電動勢的大小，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。一些電路設計引入穩頻、鎖相、溫度補償等地新技術，利用磁阻來調制測量信號。還采用設計的集成電路，引入微機，使測量精度和重現性有了大幅度的提高(幾乎達一個數量級)?，F代的磁感應測厚儀，分辨率達到0.1um，允許誤差達1%，量程達10mm。

　　臺式的熒光X射線膜厚儀，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子，俗稱為二次熒光，,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值·那么，如何正確操作使用膜厚儀？

　　膜厚儀測定準備

　?。?）確保電池正負極方向正確無誤后設定。

　?。?）探頭的選擇和設定：在探頭上有電磁式和渦電流式2種類型。對準測定對象，在本體上進行設定。

　　膜厚儀測定方法

　?。?）探頭的選擇和安裝方法：確認電源處于OFF狀態，與測定對象的質地材質接觸，安裝LEP-J或LHP-J。

　?。?）調整：確認測定對象已經被調整。未調整時要進行調整。

　?。?）測定：在探頭的末端加一定的負荷，即使用[一點接觸定壓式]。抓住與

　　測定部接近的部分，迅速在與測定面成垂直的角度按下。下述的測定，每次都

　　要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。使用管狀的東西連續測定平面時，如果采用探頭適配器，可以更加穩定地進行測定。